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清洁度无尘室有哪些分类?
2023-03-21 [240]
  清洁度无尘室是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
 
  清洁度无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米。也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。
 
  清洁度无尘室较主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。由于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。
 
  例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造的重要要素。
 
  清洁度无尘室可分为层流型和乱流型,层流洁净室是指空气由一侧以同速流向另一侧,使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外或者经过回风口过滤器过滤处理,而达到好的除菌效果,该方式比较适合用于高洁净度等级要求的行业洁净室。
 
  而乱流洁净室是指空气由洁净室顶部经过组合式空调机组初中效过滤器过滤,加压由经过保温的风管分散送到各个房间,然后经过送风口送入洁净室内,以达到净化的效果,该送风方式比较常见,回风一般做在角落或者立柱的底部,整体回风;洁净室的送风系统少不了各种空气过滤器的严格控制。